产品详情
产品 | 产品介绍 | 分类 | 关键性能描述 |
| 晶圆级绝缘钝化层PI | PS601/PS611产品,通过高温交联和酰亚胺化后所得的聚酰亚胺膜具有优异的耐热性、尺寸稳定性、力学特性和耐化学性等。搭配光刻胶可实现图形化功能层,可作为半导体功率器件中的晶圆级绝缘钝化层 | PS系列 | 粘度4000cP~20000cP; 膜厚5μm~25μm; 固化温度350℃~420℃; 1%失重温度>445℃; 具备优异的力学电学性能 |
| 晶圆级绝缘钝化层PSPI | 正性光敏PS602/负性光敏DG5030产品,有良好的图形化能力,通过高温交联和酰亚胺化后所得的聚酰亚胺膜具有优异的耐热性、尺寸稳定性、力学特性和耐化学性等。可作为半导体功率器件中的晶圆级绝缘钝化层 | PS系列/DG系列 | ghi线曝光; 分辨率5μm~10μm; 覆盖高/低感光度PSPI; 膜厚5μm~15μm; 固化温度350℃~400℃; 具备优异的电学、力学性能 |
关键词:晶圆级绝缘钝化层材料
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晶圆级绝缘钝化层材料
晶圆级钝化层PI/PSPI,是在晶圆级封装(WLP)工艺中应用的关键材料。通过旋涂、曝光显影形成图形化保护层。经高温固化后,为芯片表面提供优异的钝化保护和应力缓冲,有效提高器件可靠性。
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膜厚5μm~15μm固化温度450℃~480℃;
1%失重温度>560℃;
具备优异的力学光学性能 -
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固化温度250℃~280℃;
具备优异的光学、力学性能 -
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固化温度250℃~280℃;
具备优异的光学、力学性能
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